Ngoài ra, quang khắc còn được sử dụng trong ngành khoa học và công nghệ vật liệu để chế tạo các chi tiết vật liệu nhỏ, chế tạo các linh kiện vi cơ điện tử (MEMS).
In addition, lithography was used in the industry of science and technology of materials to make the details of the small material, fabrication of micro electronic components (MEMS).
In addition, photolithography is also used in the science and technology of materials for making the small details of materials, fabrication of micro-electromechanical components (MEMS).