Công nghệ quang khắc có thể tạo ra vật liệu kích cỡ micromet. Để chế tạo vật liệu kích thước nhỏ hơn 50nm, người ta dùng phương pháp khắc chùm tia điện tử.
Photolithography technology can create micrometer size materials. To make the material the size smaller than 50nm, it used an electronic beam etching method.
Photolithography technology can generate micrometer-sized materials. To manufacture the material smaller than 50nm, people use methods of electronic beam lithography.